什么原因會導致高純氮色譜分析儀分析的數據產生偏差

發(fā)布日期：2017-01-20 00:00 來源：http://m.vwalker.cn 點擊：

什么原因會導致高純氮色譜分析儀分析的數據產生偏差

高純氮在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

在儀器應用的過程中，影響因素種類較多且變化較復雜，而要想有效地控制這些影響因素及排除干擾測定的因素則困難比較大。例如微量氧的測定，不但要嚴格控制系統(tǒng)材質和密封，而且系統(tǒng)的潔凈等諸多因素也必須逐一解決好，否則，氧成分分析不會得到正確的測定結果。而對于氣體中微量水含量的測定，除了考慮以上提到的各種影響因素外，還必須考慮到樣氣中的水在管道內的吸附平衡題目，而這一題目的妥善處理必須依靠反復試驗，了解其變化情況和規(guī)律，把握其中的操縱技術，以便得到正確無誤的結果。當然，使用氣相色譜儀測定高純氣體中ppm-ppb級雜質成分含量要考慮和控制的影響因素就更加復雜了。在分析儀器的應用過程中，對于每一次測定結果的數據，必須作出誤差分析，以確定數據分析的真實性、可靠性和可信程度。一個合格的分析工作者是不會也不應該馬馬虎虎地把每次分析測定的結果上報或公布的。一般是在測定結果得出后，經過誤差分析，在確定分析數據的誤差總和小于規(guī)定的答應誤差時，才將這一個(或一組)數據視為正確測定結果上報或公布。否則，不正確的數據會給生產治理者帶來嚴重的不良后果。

高純氮色譜分析儀