純氮和高純氮相差只在0.009%之間--高純氮色譜分析儀

發(fā)布日期：2016-11-24 00:00 來源：http://m.vwalker.cn 點擊：

純氮和高純氮相差只在0.009%之間--高純氮色譜分析儀

純度是氮氣的一個重要技術(shù)參數(shù)，按國標(biāo)氮氣的純度分為工業(yè)用氮氣、純氮和高純氮三級，它們的純度分別為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％）。純氮N2 ≥99.99 化工、治金、電子工業(yè) 高純氮N2 ≥99.999 科研、電子、機(jī)械行業(yè)、色譜儀載氣所以用于制冷劑的話，沒什么區(qū)別，高純氮主要適用于精密儀器純度≥99．999％的高純氮外（進(jìn)口價格很高），國內(nèi)外同行目前一般用PSA制氮技術(shù)只能制取氮氣純度為99．9％的普氮（即O2≤0．1％），個別企業(yè)可制取99．99％的純氮（O2≤0．01％），純度更高從PSA制氮技術(shù)上是可能的，但制作成本太高，用戶也很難接受，所以用非低溫制氮技術(shù)制取高純氮還必須加后級純化裝置。

　高純氮的性質(zhì)：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃。氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫擴(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

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